Fourier Transform Infraqizil Spektroskopiya (FTIR) analizatori yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sanoatida qo'llaniladi FTIR - Furye transformatsiyasi orqali ifloslik kontsentratsiyasini tahlil qilish uchun infraqizil spektroskopiyadan foydalanadigan spektral tahlil vositasi. Spektrometr asosan yorug'lik manbai (kremniy uglerod tayog'i, yuqori bosimli simob chiroq), Mishelson interferometri, detektor va interferometrdan iborat.
Infraqizil yorug'lik manbai S tomonidan chiqarilgan infraqizil yorug'lik parallel infraqizil nurga aylanadi va interferentsiya tizimiga kiradi. Interferometr tomonidan sozlangandan so'ng, interferentsiya nuri nuri olinadi. Interferentsiya nuri spektral ma'lumotni o'z ichiga olgan interferentsiya signalini olish uchun Sa namunasidan o'tadi, u D detektoriga etib boradi va keyin D tomonidan elektr signaliga aylanadi. Bu erda interferentsiya signali vaqt funktsiyasi bo'lib, interferentsiya signali tomonidan chizilgan interferentsiya naqshidir. , va uning gorizontal o'qi - harakatlanuvchi oynaning harakatlanish vaqti yoki masofasi. Ushbu interferentsiya sxemasi kompyuterga A/D konvertori orqali yuboriladi va kompyuter gorizontal o'q sifatida to'lqin raqami bo'lgan infraqizil spektrni olish uchun Furye o'zgarishi bo'yicha tezkor hisob-kitoblarni amalga oshiradi. Keyin u juda tanish standart infraqizil yutilish spektrini chizish uchun D/A konvertori orqali plotterga yuboriladi.
